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一种在集成电路芯片上直接生长图形化石墨烯的工艺方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566424 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210173104.7 C23F 1/02 (2006.01) (22)申请日 2022.02.2
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