一种可自动调节的集成电路芯片制造设备.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380685 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110437625.4
(22)申请日 2021.04.22
(71)申请人 刘影
地址 1100
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