偏振光检测方法、光子集成芯片及探测器.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113358216 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110605794.4
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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