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用于铜阻挡物的化学机械抛光的组合物及方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396197 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 201980090623.3 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

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