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一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117798813A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202410149701.5

(22)申请日2024.02.02

(71)申请人华海清科股份有限公司

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