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一种六角相三氧化二铈单晶薄膜的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114457407 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210097923.8 C30B 29/64 (2006.01)

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