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一种异质单晶薄膜的制备方法及异质单晶薄膜.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394338 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110467099.6 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人上海

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