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一种高红外开关率的钒基氧化物薄膜的制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112795883 B (45)授权公告日 2021.11.26 (21)申请号 202011573076.5 C23C 14/08 (2006.01)

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