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一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114561617 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210204583.4 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人季华实验室地址 528200

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