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一种高稳定性高性能氧化物薄膜晶体管的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117497422A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202311228225.8

(22)申请日2023.09.22

(71)申请人福州大学

地址350108

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