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一种单晶炉炉底冷却装置及单晶炉.pdf

发布：2023-03-10约7.23千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213417069 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021495027.X (22)申请日 2020.07.24 (73)专利权人四川永祥硅材料有限公司

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