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一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112917716 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110091794.7 (22)申请日 2021.01.23 (71)申请人南京欧伊工程技术有限公司

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