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一种单晶硅片切割装置.pdf

发布：2023-03-02约9.32千字共9页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218535184 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222421109.5 (22)申请日 2022.09.13 (73)专利权人江苏和阳新材料有限公司地址 2

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