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一种晶棒防坠落装置及单晶炉.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337882 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110627854.2 (22)申请日 2021.06.05 (71)申请人 北京北方华创真空技术有限公司
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