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一种半导体芯片加工用夹持机构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213163821 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202020953792.5 (22)申请日 2020.05.30 (73)专利权人颜怀斌地址 40

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