一种半导体芯片生产用浸没式光刻机.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213409535 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021680071.8 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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