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一种半导体芯片生产用浸没式光刻机.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213409535 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021680071.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2
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