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一种高导热抗压的氮化硅基板及其生产工艺.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113388232 B (45)授权公告日 2022.05.06 (21)申请号 202110871493.6 C08L 61/34 (2006.01)

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