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量产α-相氮化硅的多步氮化工艺及α-相氮化硅.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114572942 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011371877.3 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人 新疆晶硕新材料有限公司 地址 83
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