一种氮化硅分级轮.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN107626587A
(43)申请公布日
2018.01.26
(21)申请号20171
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一种制备β-氮化硅晶须的方法
一、1.制备β-氮化硅晶须的基本原理
(1)β-氮化硅晶须作为一种新型陶瓷材料，因其具有高强度、高硬度、耐高温、耐腐蚀以及良好的热稳定性等优异性能，在航空航天、机械制造、电子信息等领域具有广泛的应用前景。制备β-氮化硅晶须的基本原理主要基于化学反应和物理变化的过程。首先，通过选择合适的原料，如氮化硅粉末、碳源和催化剂等，进行高温合成反应，利用这些原料在高温下发生化学反应，生成β-氮化硅晶须。在制备过程中，温度、压力、反应时间等参数的控制至关重要，它们直接影响到晶须的形貌、尺寸、结晶度和性能。
(2)β-氮化硅晶须的制备方法主要包括化学气相沉积法（C
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