一种互联用转接真空装置及超高真空设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114878841 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210448367.4
(22)申请日 2022.04.26
(71)申请人 中国工程物理研究院材料研究所
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