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一种互联用转接真空装置及超高真空设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878841 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210448367.4 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人 中国工程物理研究院材料研究所 地址
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