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一种真空设备的真空度检测装置.pdf

发布：2023-06-06约9.64千字共11页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113008452 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110196733.7 (22)申请日 2021.02.22 (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号 C

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