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真空设备和方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114829100 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080080245.3 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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