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一种真空设备炉门防尘盖开合联动机构.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220524660U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202321920875.4

(22)申请日2023.07.20

(73)专利权人艾华（无锡）半导体科技有限公司

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