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半导体工艺腔室及其上电极结构.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883171 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210452382.6 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址

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