MEMS加速度计在采煤机摇臂倾角检测技术的应用研究.docx

MEMS加速度计在采煤机摇臂倾角检测技术的应用研究

目录

MEMS加速度计在采煤机摇臂倾角检测技术的应用研究（1）．．．．．．．．3

研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

MEMS加速度计的原理和特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1加速度计的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2MEMS加速度计的特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

摇臂倾角检测需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.1市场需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2设备要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

相关技术比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

4.1光学传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

4.2霍尔效应传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.3传统机械式传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

MEMS加速度计的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

5.1高精度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

5.2灵敏度高．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.3小型化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

6.1在线监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

6.2定位导航．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.3能耗优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

实验装置搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

7.1实验环境准备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

7.2实验设备选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

8.1数据采集流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

8.2数据处理步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

9.1检测误差分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

9.2工作稳定性评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

MEMS加速度计在采煤机摇臂倾角检测技术的应用研究（2）．．．．．．．42

摇臂倾角检测技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

1.1采煤机摇臂倾角检测的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

1.2传统倾角检测方法及局限性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

1.3MEMS加速度计在倾角检测中的应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

MEMS加速度计原理与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

2.1MEMS加速度计工作原理．．．．．