第五章硅的外延薄膜的生长.pdf

第五章硅和硅基薄膜的外延生长祥解.doc 第五章硅和硅基薄膜的外延生长 5．1 概述 外延生长(通常亦简称外延)是半导体材料和器件制造的重要工艺之一，它的应用和发展对于提高半导体材料的质量和器件的性能，对于新材料、新器件的开发，对于半导体科学的发展都具有重要意义。所谓外延生长就是在一定条件下，在经过仔细制备的单晶衬底上，沿着原来的结晶方向生长出一层导电类型、电阻率、厚度和晶格结构、完整性等都符合要求的新单晶层的工艺过程。所生长的单晶层称为外延层。 外延生长同从熔体中直接生长一样都是制备半导体材料单晶的方法，但相比之下外延生长有它一些特殊的优点： (1)利用外延生长可以在一块低电阻率的衬底上生长出

2016-04-04 约字 92页立即下载

第五章_硅外延生长要点解析.ppt * SIMOX材料：最新趋势是采用较小的氧注入剂量显著改善顶部硅层的质量降低SIMOX材料的成本低注入剂量(~ 4?1017/cm2)的埋氧厚度薄：800～1000? 退火温度高于1300℃，制备大面积(?300mm)SIMOX材料困难 * Smart Cut智能切割兼具有SDB和SIMOX的特点，工艺流程包括热氧化、注氢、低温键合、热处理剥离、精密抛光等。这种方法制得的硅片顶部硅膜的均匀性相当好，单片厚度偏差和片间偏差可控制在10nm以内，另外生产成本也可降低，因为不需要昂贵的专用大束流离子注入机和长时间的高温退火，所以这是一种极有前途的SOI制备技术。特别适用于制备薄

2016-05-09 约8.42千字 76页立即下载

第五章薄膜淀积工艺(下).ppt 第五章薄膜淀积工艺（下）薄膜淀积（Thin Film Deposition）工艺 ■ 概述 ■ 真空技术与等离子体简介 ■ 化学气相淀积工艺 ■ 物理气相淀积工艺 ■ 小结参考资料：《微电子制造科学原理与工程技术》第12章（电子讲稿中出现的图号是该书中的图号）四、物理气相淀积工艺 ■ 引言 ■ 蒸发工艺 ■ 溅射工艺（一）引言 1、物理气相淀积（Physical Vapor Deposition）技术： ■ 蒸发（Evaporation）法 ■ 溅射（Sputtering）法 PVD的特点：靶材料薄

2016-12-22 约字 29页立即下载

第五章薄膜的化学气相沉积.ppt 第五章 化学气相沉积特点需要使用汽态的物质作为反应物质源物质要经过化学汽相反应生成所需要的材料需要相对较高的气体压力环境通常需要热，电磁场或光等的作用，促使化学反应的进行。热能：热CVD ，热丝CVD 光能：激光诱导CVD；紫外光诱导CVD 电磁场：等离子体增强CVD 5.1 CVD模型 薄膜的生长过程取决于气体与衬底间界面的相互作用，其具体过程可能涉及以下几个步骤：提高Re，可以降低边界层的厚度，促进化学反应和提高沉积速度。但Re的增加受到一定限制，Re过高，气体的流动状态变为湍流，这将破

2019-12-23 约1.08万字 66页立即下载

第五章挤出吹塑薄膜规范.ppt 塑料薄膜可以用压延法、流涎法、挤出法生产。用挤出机生产薄膜，又分为吹塑法和用狭缝机头直接挤出法两种。用挤出吹塑法生产的薄膜(片)其厚度在0.01～0.3毫米之间(厚度小于0·25毫米的通称为膜，大于0.25毫米的通称为片材)，展开宽度最大可达20米。可以用吹塑法生产薄膜的塑料有:PVC、PE、PP、PA、PS等。还发展了乙烯一醋酸乙烯(EVA)薄膜。我国以PVC和聚烯烃薄膜居多。共挤出技术被广泛用于复合薄膜、板材、管材、异型材和电线电缆的生产。共挤出使用的原料同类或同种塑料的共挤出：物料间的流变性能相近，粘合性较好，复合工艺容易，成本较低。但性能改善幅度不大。共挤出使

2017-03-17 约3.24千字 51页立即下载

第五章挤出吹塑薄膜要点.ppt 塑料薄膜可以用压延法、流涎法、挤出法生产。用挤出机生产薄膜，又分为吹塑法和用狭缝机头直接挤出法两种。用挤出吹塑法生产的薄膜(片)其厚度在0.01～0.3毫米之间(厚度小于0·25毫米的通称为膜，大于0.25毫米的通称为片材)，展开宽度最大可达20米。可以用吹塑法生产薄膜的塑料有:PVC、PE、PP、PA、PS等。还发展了乙烯一醋酸乙烯(EVA)薄膜。我国以PVC和聚烯烃薄膜居多。共挤出技术被广泛用于复合薄膜、板材、管材、异型材和电线电缆的生产。共挤出使用的原料同类或同种塑料的共挤出：物料间的流变性能相近，粘合性较好，复合工艺容易，成本较低。但性能改善幅度不大。共挤出使

2017-01-22 约3.24千字 51页立即下载

第五章 真菌的生长new.ppt 第五章　真菌的生长 丝状真菌和非丝状真菌的生长类型不同，但它们的生长机制相似。与维管植物之间的一个重要区别是真菌细胞不能通过分生组织分裂而形成丝状真菌，丝状真菌的生长有两种方式：顶端生长的方式顶端之后的菌丝细胞壁变粗而不能延伸通过顶端延长而生长成丝状体分枝生长的方式产生繁茂的分枝而构成真菌的菌落第一节　丝状真菌的生长 一、丝状真菌的(顶端）生长 1.菌丝顶端生长的泡囊学说丝状真菌由菌丝顶端的生长已经获得了形态学和细胞学的证据。

2017-12-28 约1.02万字 48页立即下载

畴外延生长γ-CuI薄膜的方法及γ-CuI薄膜.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117802574A (43)申请公布日2024.04.02 (21)申请号202410218690.1 (22)申请日2024.02.28 (71)申请人内蒙古工业大学地址01005

2024-03-31 约1.19万字 9页立即下载

第五章 光学薄膜制备工艺因素.ppt 第五章 光学薄膜制备工艺因素 §5.1 制备工艺因素薄膜制备是一个复杂的过程，它是通过大块固态材料蒸发或溅射，经过气相传输，最后在基板表面凝结得到的。在制备过程中，因各种各样的因素相互作用，致使薄膜性质产生很大的差异。图5-1表示一些主要的工艺因素对膜层微观结构和化学成分的影响，从而产生对光学性质、机械性质和抗激光损伤等特性的变化。 1、基板处理抛光：消除散射表面粗糙度和缺陷是散射的主要来源，在可见光区，对于要求较高的基片，表面均方根粗糙度要求小于1nm。除微观缺陷外，表面划痕、麻点、气泡等宏观缺陷也是必须重视的，它是引起红外波段散射的主要原因。此外，基片在抛光过程中形成的

2017-05-27 约字 28页立即下载

半导体薄膜技术与物理 第五章.ppt 过饱和度以熔体饱和温度与生长温度差的形式给出，因为在这个温度范围内，硅在锡中的溶解度与温度成线性关系。因此，温度差直接表示过饱和度。外延层厚度的增加与生长时间平方根成正比，与过饱和度成正比。 * * 第五章硅液相外延液相外延（Liquid Phase Epitaxy，LPE）从过冷饱和溶液中析出固相物质并沉积在单晶衬底上生成单晶薄膜 1963年，尼尔松发明，用于外延GaAs 物理理论基础：假设溶质在液态溶剂内的溶解度随温度的降低而减少，那么当溶液饱和后再被冷却时，溶质会析出。若有衬底与饱和溶液接触，那么溶质在适当条件下可外延生长在衬底上。

2017-10-07 约3.34千字 32页立即下载

第五章第二节植物根的生长讲课.pptx ;从根的尖端到生有根毛的一段;观察植物的根尖：根尖顶端略带一点黄色的帽状体是根冠。再上部稍稍发暗的是分生区。分生区的上部，白色光滑的部分是伸长区。幼根上距离顶端一段距离的地方，长着密密的根毛，多得数不清，这就是成熟区。;根尖的结构;;;;;观察根毛;;比较项目 ; 玉米的支柱根（支持根）具有支持功能;;二、根的功能：;三、探究根生长最快的部位;探究目的：分析根的生长部位推荐器材：长出幼根的小麦种子，毛笔提出问题：做出假设：设计实验：;一段时间后…;;归纳:根的生长原因;根的什么部位生长最快？;四、根生长的方向和特点;考考你

2017-05-09 约小于1千字 24页立即下载

第五章 微生物生长动力学.ppt 第五章 微生物生长动力学第一节微生物生长的基本特征微生物一般包括细菌、酵母菌、霉菌、放线菌、立克次氏体、支原体和病毒等。微生物特有的现状：（1）生长速度快（2）对物质具有强烈的转化作用（3）容易引起变异，致使种类繁多（4）生长繁殖形式具有一定特征微生物种类繁多，其形态构造及功能有很大差异，但也有共同之处： 1、以细胞为构造单位，其数目随时间的增加而增加（生长） 2、构成细胞的物质大体相同 3、细胞内的化学反应（代谢）基本相同 4、适应能力较强，能随环境变化而自行调节微生物是反应过程的生物催化剂，把原料转为有用的

2019-05-06 约5.96千字 59页立即下载

第五章微生物的生长繁殖及其控制.doc 第五章 微生物的生长繁殖及其控制重点：细菌生长曲线的定义、各时期的特点、应用及生产指导意义。控制微生物生长繁殖及控制微生物生长的条件及原理。微生物在适宜的环境条件下，不断地吸收营养物质，并按照自己的代谢方式进行代谢活动，如果同化作用大于异化作用，则细胞质的量不断增加，体积得以加大，于是表现为生长。简单地说，生长就是有机体的细胞组分(constituent)与结构在量方面的增加。单细胞微生物如细菌，生长往往伴随着细胞数目的增加。当细胞增长到一定程度时，就以二分裂方式，形式两个基本相的子细胞，子细胞又重复以上过程。在单细胞微生物中，由于细胞分裂而引起的个体数目的增加，称为繁殖。在多细胞微生物中

2015-08-09 约9.18千字 7页立即下载

第五章+微生物的生长及其控制讲课.ppt 测生长量（1）制标准曲线（OD~No）（2）测菌液浊度，查图表得出细菌数量提问：为什么不考察细菌个体的生长呢？在实际工作中如接种菌种以启动新的水处理设施，投加新鲜污泥时，接种的细菌不习惯于新环境，会出现或长或短的迟缓期，迟缓期的出现会增加操作时间，降低工作效率。湿热灭菌法 ①湿热灭菌法是指用100℃以上的加压蒸气进行灭菌。 ②湿热灭菌效果好的原因：湿热蒸气不但透射能力和热传导强，而且湿热时微生物吸收高温水分，还能破坏维持蛋白质空间结构和稳定性的氢键，从而加速这一重要生命大分子物质(菌体蛋白)的凝固变性。湿热温度下，多数细菌和真菌的营养细胞在60℃左右处理5-1

2017-05-08 约1.57万字 156页立即下载

学习辅导：第五章 小儿生长发育.doc 学习辅导：第五章　小儿生长发育【学习目标】　　1．掌握：各年龄小儿身长、体重、头围的正常值；囟门关闭和牙齿萌出及换牙的规律；小儿运动和语言发展规律。　　2．熟悉：小儿心理社会发展和认知发展规律。　　3．了解：儿童情绪和情感的发展和小儿常见心理行为问题和健康问题。【相关概念】　　1．生长发育　　生长(growth)是指小儿各器官、系统的长大和形态变化，表示机体量的改变；发育(development)是指细胞、组织、器官的分化完善和功能上的成熟，表示质的改变。二者紧密相关，共同表示机体的动态变化。生长发育贯穿于从精卵结合到青春期结束的全部过程，不仅指体格的生长，还包括情感

2016-07-28 约2.89千字 5页立即下载

第五章 硅的外延薄膜的生长.pdf

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