一种带电粒子束处理工件的方法与设备.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113403572 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110415775.5
(22)申请日 2021.04.19
(71)申请人 江苏集创原子团簇科技研究院有限
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