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一种利用高能粒子束灭菌安全柜的压力平衡方法及装置.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117399085A

(43)申请公布日2024.01.16

(21)申请号202311154945.4B01D53/32(2006.01)

(22)申请日2023.09.

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