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一种测量高能粒子离化电荷粒径的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112817036 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110014987.2 (22)申请日 2021.01.06 (71)申请人 中国科学院微电子研究所
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