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带电粒子束描绘装置、带电粒子束描绘方法以及程序.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840437 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980067648.1 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

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