文档详情

用于扫描样品的带电粒子束系统.pdf

发布：2023-06-19约2.91万字共30页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383404 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 201980087119.8 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

显示全部

相似文档

一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551196 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210146332.5 H01J 37/18 (2006.01)
2023-05-06 约1.62万字 16页立即下载
脉冲带电粒子束系统.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113412529 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 201980091751.X A ·V ·G ·曼格努斯　任岩　
2023-06-17 约9.21万字 71页立即下载
用于检查样本的方法及带电粒子束装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114830286 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 201980101525.5 (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
2023-05-16 约5.57万字 53页立即下载
多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341655 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110185082.1 (22)申请日 2021.02.10 (30)优先权数据 2020-0253
2023-06-17 约2.65万字 30页立即下载
带电粒子束装置和操作带电粒子束装置的方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586128 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080070186.1 (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
2023-05-09 约2.95万字 23页立即下载
带电粒子束的等时周期场聚焦.pdf
2017-05-05 约小于1千字 6页立即下载
带电粒子束的偏转合轴装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218585653 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202222505924.X (22)申请日 2022.09.21 (73)专利权人无锡日联科技股份有限公司地址
2023-03-08 约1.07万字 12页立即下载
具有低串扰的多带电粒子束设备.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114830287 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080088481.X (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所
2023-05-14 约4.57万字 35页立即下载
带电粒子束描绘装置、带电粒子束描绘方法以及程序.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840437 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980067648.1 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司
2023-06-03 约2.89万字 27页立即下载
带电粒子束设备、场曲校正器、及操作带电粒子束设备的方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840431 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980067541.7 (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
2023-06-02 约2.66万字 22页立即下载
一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117728281A (43)申请公布日2024.03.19 (21)申请号202311737297.5 (22)申请日2023.12.15 (71)申请人惠然科技有限公司地址1001
2024-03-17 约2.46万字 23页立即下载
用于校准粒子束的垂直度的方法以及应用于半导体制造工艺的系统.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363197 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110630508.X (22)申请日 2019.10.30 (62)分案原申请数据 2019800
2023-06-16 约1.77万字 17页立即下载
一种带电粒子束处理工件的方法与设备.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113403572 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110415775.5 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人江苏集创原子团簇科技研究院有限
2023-06-21 约1.41万字 11页立即下载
带电粒子束传输中发散范围的计算.PDF 1 9 8
2018-12-12 约9.04万字 12页立即下载
粒子束系统、操作粒子束系统的方法以及计算机程序产品.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363126 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110237457.4 (22)申请日 2021.03.03 (30)优先权数据 102020105
2023-06-19 约2.01万字 17页立即下载