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一种InGaAs/AlGaAs阱垒外延层结构的优化方法及其应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112803240 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 202110054432.0 H01S 5/183 (2006.01) (22)申请日 2021

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