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一种芯片外延层结构及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820805 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110191780.2 (22)申请日 2021.02.19 (71)申请人福建兆元光电有限公司

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