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一种双面晶圆外观缺陷检测机.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112791976 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110134535.8 (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人苏州矩浪科技有限公司

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