垂直场效应晶体管和用于其构造的方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114586173 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202080073919.7 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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