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一种碳化硅沟槽刻蚀方法.pdf

发布：2023-06-18约6.4千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410136 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110663179.9 (22)申请日 2021.06.15 (71)申请人西安微电子技术研究所

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