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一种碳化硅和硅异质结沟槽逆导型IGBT.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551580 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210188969.0 H01L 29/739 (2006.01) (22)申请日 2022.03

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