用椭圆偏振仪测量薄膜厚度——叶昕.ppt
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用椭圆偏振仪测量薄膜厚度.ppt
用椭圆偏振仪测量薄膜厚度电科091刘涛了解薄膜的厚度测量的基本原理。利用椭圆偏振光消光法，测定透明薄膜的厚度。01教学重点、难点：节课教学重点：测量薄膜厚度。节课教学难点：实现椭圆偏振光消光。02教学目的与要求实验原理有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再经过一个波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏振光入射到待测的薄膜表面上时，反射光的偏振状态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计算出待测薄膜的厚度。椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为n1的空气(或真空)．中间是一层厚度为d折射率为n2的介质薄膜，下层是折射率
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张利宏_椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率.ppt
thanks 椭圆偏振仪 测量薄膜厚度和折射率 姓名：张利宏 学号：2013326690025 指导老师：李小云 班级：应用物理一班 实验目的 （1）?了解椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理； （2）掌握椭圆偏振仪的使用方法，会利用椭偏仪对薄膜厚度和折射率进行测量． 实验仪器 半导体激光器 椭圆偏振仪 数字检流计 利用椭偏仪测量优点 精度高 较灵敏 非破坏性 实验原理装置 实验原理 一束自然光经偏振器变成偏振光,再经过1/4波片使它变成椭圆偏振光入射在待测膜上; 反射时,光的偏振状态发生变化; 通过检测这种变化,便可推算出待测膜面的膜厚度和折射率. 多光反射示意图 d n1
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椭圆偏振光法测量薄膜的厚度与折射率改进.doc
椭圆偏振光法测量薄膜的厚度和折射率改进
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[摘 要 ]： 通过利用椭圆偏振光和线偏振光的变化以及偏振光的反射、折射，有菲涅尔公式推导，进而测得薄膜的厚度和折射率。做出具体的计算机画图程序便于查找计算，并分析现有仪器的缺陷，改进测量薄膜厚度的方法。引入不同波长的激光光源来解决周期厚度的问题，同时提供了确定波片快慢轴的方法。
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[关键词]：椭圆偏振光 菲涅尔公式 画图程序 厚度周期数 快轴 多光束干 涉 算法
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椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率.ppt
实验目的 （1）?了解椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理； （2）掌握椭圆偏振仪的使用方法，会利用椭偏仪对薄膜厚度和折射率进行测量． 实验仪器 半导体激光器 椭圆偏振仪 数字检流计 利用椭偏仪测量优点 精度高 较灵敏 非破坏性 实验原理 一束自然光经偏振器变成偏振光,再经过1/4波片使它变成椭圆偏振光入射在待测膜上; 反射时,光的偏振状态发生变化; 通过检测这种变化,便可推算出待测膜面的膜厚度和折射率. 多光反射示意图 理论推导 总反射系数 引入两个物理量 和 称为椭圆偏参量(椭圆偏角) 和 的物理意义 光的复数形式 反射前后p和s分量的振幅比 反射前后p和
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YS/T 839-2012硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法.pdf
ICS77.120.99
H 68
中华人民共和国有色金属行业标准
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YST839 2012
硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率
的椭圆偏振测试方法
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硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率
的椭圆偏振测试方法
Testmethodformeasurementofinsulatorthickness
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椭圆偏振仪讲稿1.ppt
椭圆偏振仪 金承钰 上海交通大学分析测试中心 （上海市华山路1954号，中国上海，200030） 工作原理 入射光入射任何介质 Transmission=IT/IO Reflection=IR/IO 椭圆偏振测量术是研究两媒质间界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法，基于利用偏振光束在界面和薄膜上反射或透射时出现的偏振态的变化。 S-P坐标系中电磁波的电场分量描述 Erp rp 0 Eip Ers = 0 rs = Eis 则有rp= Erp / Eip，rs= Ers/ Eis 设入射电场分量与
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椭圆偏振光与圆偏振光.ppt
5.7 椭圆偏振光与圆偏振光 *圆偏振光 在垂直于光传播方向的固定平面内，光矢量的大小不变，但随时间以角速度?旋转，其末端的轨迹是圆。这种光叫做圆偏振光。某一固定时刻t0，在传播方向上各点对应的光矢量的端点轨迹是螺旋线. 随着时间推移， 螺旋线以相速前移。 圆偏振 若圆偏振光的光矢量随时间变化是右旋的，则这种圆偏振光叫做右旋圆偏振光，反之，叫做左旋圆偏振光。若光矢量在时间上是右旋的，则在空间上一定是左旋， 即“空左时右”。 在垂直于光传播方向的平面内，右旋圆偏振光的电矢量随时间变化顺时针旋转 右旋圆偏振光在三维空间中电矢量左旋 蔗糖 * 椭圆偏振光 在
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线偏振圆偏振及椭圆偏振.PDF
線偏振、圓偏振及橢圓偏振
【目的 】
1.認識光的偏振性和偏振光的種類，並學習利用偏振器 製造偏振光。
2.學習並驗證Malus’s Law 。
λ λ
3.觀察 波片和 波片對線偏振光的作用 。
2 4
【原理 】
光是電磁波， 而電磁波是一種橫波，電磁場的 振動方向與波的前進方向垂直。若電場 E
被限制在某一些方向上振盪，稱為光的偏振化，電場振動方向稱為光的偏振方向。
1.偏振光的種類
沿 z 方向傳播的波動方程的通解可表示為沿 x
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椭圆偏振光和圆偏振光.pptx
1
波动光学
(Wave motion optics)
2
本章开始的研究对象: 光。
光是什么？近代物理认为，光既是一种波动(电磁波)，又是一种粒子(光子)。就是说，光是具有波粒二象性的统一体。
光学通常分为几何光学、波动光学和量子光学三部分。
我们首先研究光的波动性。波动光学是当代激光光学、信息光学、非线性光学和很多应用光学的重要基础。波动最重要的特征是具有干涉、衍射和偏振现象。
引 子
3
可见光,即能引起人的视觉的电磁波,它的频率在3.9×1014～7.7×1014Hz之间,相应真空中的波长在7700Å~
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圆偏振光和椭圆偏振光的获得和检验.pptx
§3圆偏振光和椭圆偏振光旳取得和检验;1．垂直振动旳合成;1）或时;3）时;合振动是正椭圆偏振态。;时，椭圆偏振态退化为圆偏振态。;4）普遍情形;;2．圆偏振光和椭圆偏振光旳取得;3）入射相位差;（2）选用波晶片。;2）选用波晶片;3．圆偏振光和椭圆偏振光经过
检偏器后强度旳变化;2）椭圆偏振光经过旋转旳检偏器后光强旳变化;（2）求出和及。;3）例题：;（3）出射光即为如下图旳左旋椭圆偏振光;;5．圆偏振光和椭圆偏振光旳检验;（a）若出射光强有变化，且有消光位置，
则入射光是线偏振光。;（3）先在第三组入射光前放置偏振片，将
偏振片旋至光强最强（或最弱）位置
停止旋转。;4）区别左旋或右旋圆偏
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关于椭圆偏振光测不准的分析.doc
关于椭圆偏振光测不准的分析
西南交通大学土木09詹班
陈曦
摘要:在光学实验中,用GSZF-3实验系统检测椭圆偏振光时,测得的振幅与角度在极坐标中划出的并不是椭圆,而是一个类肾脏线.本文分析了产生的原因.
关键词: 椭圆偏振光;类肾脏线;波的独立性原理.
椭圆偏振光可用两列频率相同，振动方向互相垂直，且沿同一方向传播的平面偏振光
的叠加得到。在光波沿:方向传播的情况下，便有:
由此可得合成波的表达式
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3.2椭圆偏振测试技术解析.ppt
Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State K
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基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114467017 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202080069846.4 (74)专利代理机构 北京市汉坤律师事务所
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椭圆偏振光和圆偏振光--偏振光的干涉.ppt
右旋圆偏振光右旋椭圆偏振光yyxz传播方向?/2x某时刻右旋圆偏振光E随z的变化E01.圆偏振光和椭圆偏振光§17-17椭圆偏振光和圆偏振光偏振光的干预
椭圆偏振光椭圆偏振光和圆偏振光
1.1椭圆偏振光和圆偏振光的获得方法d双折射晶片C?单色自然光偏振片P1偏振化方向光轴方向椭圆偏振光透过双折射晶片后，o光和e光的相位差为o光和e光叠加后仍为线偏振光；o光和e光叠加后成为椭圆偏振光。椭圆偏振光和圆偏振光
1.2波片(又称相位延迟片)波片是按一定要求切割〔例如光轴平行于外表〕的晶体薄片。ydxAAoAe?线偏振光光轴λ通过厚为d的晶片，o、e光产生相位差：AAoAe?光轴P椭圆偏振光和圆偏振光