YS/T 839-2012硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法.pdf

ICS77.120.99 H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST839 2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率 的椭圆偏振测试方法 Testmethodformeasurementofinsulatorthickness andrefractiveindexonsiliconsubstratesb ellisometr y p y 2012-11-07发布 2013-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 中华 人 民共 和 国有 色 金 属 行 业 标 准 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率 的椭圆偏振测试方法 / — YST839 2012 * 中 国标 准 出版 社 出版 发 行 北京市朝阳区和平里西街甲 号( ) 2 100013 北京市西城区三里河北街 号( ) 16 100045 网址: g 服务热线: 010 年 月第一版 2013 2 * 书号: · 155066 2-24299 版权专有 侵权必究 / — YST839 2012 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( / ) 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 SACTC243归口 : 、 、 ( ) 本标准起草单位 中国计量科学研究院 有研半导体材料股份有限公司 瑟米莱伯贸