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第 33 卷 第 10 期 可再生能源 Vol.33 No.10 2015 年 10 月 Renewable Energy Resources Oct. 2015 酸性添加剂对多晶硅绒面形貌的影响 习冬 勇 ， 陈 淳 ， Thangaraj Baskara pandian ， 孙 杰 （江西瑞晶太阳能科技有限公司， 新余市光伏产品及应用工程技术研究中心， 江西 新余 338019 ） 摘 要： 采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面，通常使用的腐蚀液为HNO3 和HF 的混合溶液，增加适量酸性添 加剂，可以有效地改进制绒效果，提高多晶硅电池转换效率。文章研究了酸性添加剂在不同酸腐蚀液浓度配比条件 下制备的绒面特性。 研究结果表明，腐蚀液中加入酸性添加剂后，绒面表面腐蚀坑细小均匀，有效地降低了绒面反 射率，减少了电池产生的漏电；当腐蚀液中HNO /HF/酸性添加剂的浓度比为8∶1∶0.4 时，所制备绒面的反射率达到 3 最低值，为21.87% ，其转换效率最高。 关键词： 多晶硅； 酸腐蚀； 添加剂； 绒面织构； 反射率 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） TM914.4 A 1671-5292 2015 10-1450-04 DOI:10.13941/ki.21-1469/tk.2015.10.003 0 引言 大接触裂纹， 从而产生较大的接触电阻和漏电 目前，多晶硅表面的腐蚀通常采用各向同性 流。 为了改善酸腐蚀过程中因反应速度过快带 酸腐蚀技术， 主要利用 HNO /HF/H O 溶液对多 来的一系列问题， 国内外学者对不同缓和剂的 3 2 晶硅进行腐蚀，使其表面密集分布着陷阱坑。 酸 酸腐蚀体系做了大量研究。 例如， 如在 HNO3 ， 与硅的反应可以看作局部电化学过程，在反应发 HF 和去离子水混合腐蚀液的基础上，采用磷酸 生之处形成阳极和阴极，在反应的过程中有电流 与硫酸为缓和剂刻蚀多晶硅表面[2]～[4] 。张发云在 在它们之间流过[1] 。 阳极上的反应是硅溶解，阴极 HNO ，HF 和去离子水混合液中添加 NaH PO · 3 2 4 上的反应是HNO 的消耗，具体反应式如下。 H O 制备了一种具有均匀腐蚀坑、 表面陷光效 3 2 阳极： 果较好的绒面 ， 绒面发射率可达 16.5% ~ + + （ ） - [ 5 ] 。 本文针对酸性添加剂对多晶硅酸腐 Si+2H O+nh →SiO +4H + 4-n e 17.5% 2 2 SiO + 6HF→H SiF + 2H O 蚀制绒工艺的影响和