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用于等离子体处理腔室的导热间隔件.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112823406 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 201980066147.1 赵来　崔寿永　

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