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氧化物半导体薄膜、薄膜晶体管及溅射靶.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348562 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202080007374.X (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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