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一种MOM电容及其制备方法、高频集成电路、芯片.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116469869 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310330834.8 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人天狼芯半导体（成都）有限公司地址

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