集成电路及其形成方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363235 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110579205.X H01L 21/768 (2006.01)
(22)申请日
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