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形成材料膜的方法、集成电路器件和制造其的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013083 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011020787.X (22)申请日 2020.09.25 (30)优先权数据 10-2019-0
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