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一种检查硅晶片位置的装置.pdf

发布:2023-03-18约4.62千字共5页下载文档
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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213845228 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022603291.7 (22)申请日 2020.11.02 (73)专利权人 昆山中辰矽晶有限公司
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