文档详情

一种太阳能光伏晶片蚀刻装置.pdf

发布:2023-06-09约1.04万字共11页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112928046 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110087070.5 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人 徐州中辉光伏科技有限公司
显示全部
相似文档