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一种RF MEMS开关的原位薄膜封装方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112919405 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110108281.2 (22)申请日 2021.01.27 (71)申请人 中北大学南通智能光机电研究院
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