一种RF MEMS开关的原位薄膜封装方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112919405 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110108281.2
(22)申请日 2021.01.27
(71)申请人 中北大学南通智能光机电研究院
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