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一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114465614 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210020752.9 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人江西万年芯微电子有限公司地址 3

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