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MEMS传感器及其封装结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113003530 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110191010.8 (22)申请日 2021.02.19 (71)申请人 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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